2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年9月8日(金) 09:30 〜 11:30 PB4 (国際センター2F)

09:30 〜 11:30

[8a-PB4-1] 粉体ターゲットによる燃料電池用多元素薄膜の作製

川崎 仁晴1、吉野 光1、大島 多美子1、柳生 義人1、猪原 武士1、篠原 正典1、野尻 能弘1 (1.佐世保高専)

キーワード:粉体ターゲット、プラズマプロセス、スパッタ成膜法

粉体ターゲットを用いたプラズマプロセス法で、一室型SOFCに利用できる固体電解質を試作し、その性質を調べるとともに、それを用いた燃料電池の作製を試みた。作製した薄膜をSEMで解析した表面形状を示す。粉体ターゲットを用いたにもかかわらず、表面は平坦で2乗平均粗さは、おおよそ10nm前後であった。膜厚は触診式段差系で測定し79nmであった。