[8a-PB4-1~20] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [8a-PB4-9] He/NH₃混合ガス大気圧プラズマジェットを用いたフッ素樹脂表面のアミノ基修飾における基板バイアスの効果

〇金原 正寛¹、永津 雅章^1,2,3 (1.静岡大学総合科技研、2.静大創造科技院、3.静大電子工学院)

キーワード：プラズマ、テフロン、アミノ基