[8a-S21-1~11] 【CS.5】3.11 & 3.12 Code Sharing session

[8a-S21-6] Spectrometer devices with metamaterial color filters on Si photodiodes

〇Yoshiaki Kanamori¹, Daisuke Ema¹, Kazuhiro Hane¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:metamaterials, spectrometer devices, color filters

近年，プラズモニックカラーフィルタとCMOSセンサを組み合わせることで，回折格子が不要の分光器が報告されている。分光特性はフィルタ特性に依存し，フィルタ特性の向上が望まれる。本研究では，新たにメタマテリアル・カラーフィルタを設計し，フォトダイオード上にカラーフィルタを一体化した分光デバイスを試作，評価した。