[8a-S21-1~11] 【CS.5】3.11 フォトニック構造・現象,3.12 ナノ領域光科学･近接場光学のコードシェアセッション

[8a-S21-6] Siフォトダイオード上のメタマテリアル・カラーフィルタによる分光デバイス

〇金森 義明¹、江間 大祐¹、羽根 一博¹ (1.東北大工)

キーワード：メタマテリアル、分光デバイス、カラーフィルタ

近年，プラズモニックカラーフィルタとCMOSセンサを組み合わせることで，回折格子が不要の分光器が報告されている。分光特性はフィルタ特性に依存し，フィルタ特性の向上が望まれる。本研究では，新たにメタマテリアル・カラーフィルタを設計し，フォトダイオード上にカラーフィルタを一体化した分光デバイスを試作，評価した。