2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

[8p-A402-1~12] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

2017年9月8日(金) 13:15 〜 16:15 A402 (402+403)

金子 俊郎(東北大)

14:15 〜 14:30

[8p-A402-5] 固体スズ及び液体スズを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマの比較

小山 寛1 (1.北大工プラズマ応用研)

キーワード:プラズマ