[8p-A402-1~12] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

△ [8p-A402-5] 固体スズ及び液体スズを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマの比較

〇小山 寛¹ (1.北大工プラズマ応用研)

キーワード：プラズマ