[8p-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[8p-A411-10] ポリアリルスルホンメンブレンフィルターの薬液適合性評価

〇高倉 知征¹、都築 修一¹ (1.日本ポール)

キーワード：フィルター、半導体、ろ過

フィルターは半導体のウェットプロセスにおけるパーティクル除去のために重要な役割を担っている。フィルターは様々な薬液中で使用されるので、使用薬液に対する適合性を把握する必要がある。そこでポリアリルスルホンメンブレンフィルターについて、ウェットプロセスでよく使用される薬液である希硫酸と過酸化水素水に対する適合性をフィルターの完全性評価手法の一つであるフォワードフロー試験により評価した内容を報告する。