[8p-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8p-A504-1] ガルバノ走査型PLDによる傾斜組成Bi_1-xSm_xFeO₃薄膜の作製と構造

〇穴田 柚冬¹、原田 龍馬¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：強誘電体、傾斜組成薄膜

我々が開発してきたガルバノ走査型PLD 装置の有用性の検証とより複雑な構造をもった薄膜への応用可能性を検討することを目的として、ターゲット打ち分け比を製膜中に任意に変える必要がある傾斜組成薄膜の作製を試みた。具体的には、揮発しやすいBiを含むBi_1-xSm_xFeO₃ (BSFO)を対象として、主に組成傾斜方向と結晶構造の関係について調査した。