[8p-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[8p-A504-13] 圧電MEMS振動発電素子における非線形係数の評価

〇(DC)荒牧 正明¹、和泉 享兵¹、吉村 武¹、村上 修一²、佐藤 和郎²、藤村 紀文¹ (1.阪府院工、2.大阪技術研)

キーワード：非線形、MEMS、BiFeO3

圧電MEMS振動発電では、0.01G程度の小さな加速度において理論出力に近いエネルギー変換が可能であるが、0.1G以上の加速度領域では素子の機械的特性に起因する非線形現象が現れる。高出力化に向け非線形性を低減したMEMS素子の設計と作製を行った。作製した素子の出力電圧の周波数依存性から、0.2Gまでの領域でおおよそ加速度に比例した出力が得られた。