[8p-C14-1~7] 6.5 表面物理・真空

[8p-C14-1] その場電子顕微鏡法によるパルス通電時のタングステンナノ接点の原子挙動の観察

〇鈴木 泰周¹、木塚 徳志¹ (1.筑波大)

キーワード：金属ナノ接点、その場電子顕微鏡法、パルス通電

その場電子顕微鏡法により、パルス通電によるタングステンナノ接点の構造ダイナミックスを観察した。従来のナノ接点加工では実現されなかったような、パルス通電特有の構造変化が生じた。