[8p-C14-1~7] 6.5 表面物理・真空

[8p-C14-3] その場電子顕微鏡法による非晶質炭素被膜/Si酸化物間摩擦の観察

〇中村 大輝¹、音田 光一¹、福田 めぐみ²、木塚 徳志¹ (1.筑波大数理、2.日工大)

キーワード：摩擦、非晶質炭素、透過電子顕微鏡