[8p-C14-1~7] 6.5 表面物理・真空

[8p-C14-6] プラズマ酸化によるSi(001)のO2pピークと価電子帯バンド変化

〇森田 一帆¹、武田 さくら¹、江波戸 達哉¹、比嘉 友大¹、藤中 秋輔¹、森本 夏輝¹、米田 允俊¹、Kevin R. Ang Artoni²、Tan Xin¹、大門 寛¹ (1.奈良先端大、2.名工大)

キーワード：シリコン、ARPES