[8p-PA1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[8p-PA1-20] 電気二重層トランジスタを用いた酸化亜鉛/金属電極間の接触抵抗の低減

〇成田 智絵¹、石黒 亮輔¹、髙柳 英明² (1.日女大院理、2.東理大 総研院)

キーワード：接触抵抗、TLM、酸化亜鉛

本研究では酸化亜鉛チャネルを有する電気二重層トランジスタを作製し、イオン液体ゲート電圧を印加することで、酸化亜鉛チャネルとニオブ電極間の接触抵抗がどの程度変化するのかを測定した。さらに、酸化亜鉛とニオブの間にチタンを挟んだ試料も作製し、接触抵抗の変化の違いを比較した。その結果、チタンを挟んだ試料において、3桁以上もの大幅な接触抵抗の低減が観測された。