[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[8p-PA2-10] 多層バルジ法を用いた金属膜の簡便な破壊強度評価

〇石塚 典男¹、佐久間 憲之¹ (1.日立研開)

キーワード：MEMS、破壊強度、アルミ