2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2017年9月8日(金) 13:30 〜 15:30 PA2 (国際センター1F)

13:30 〜 15:30

[8p-PA2-14] MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路

高安 基大1,3、道正 志郎1,3、伊藤 浩之1,3、山根 大輔1,3、小西 敏文1,2,3、町田 克之1,3、石原 昇1,3、益 一哉1,3 (1.東工大、2.NTT-AT、3.JST-CREST)

キーワード:容量検出回路、MEMS加速度センサ