[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [8p-PA2-16] 積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討

〇古賀 達也^1,3、辻 一平^1,3、高安 基大^1,3、伊藤 浩之^1,3、山根 大輔^1,3、道正 志郎^1,3、小西 敏文^1,2,3、石原 昇^1,3、町田 克之^1,3、益 一哉^1,3 (1.東工大、2.NTT-AT、3.JST-CREST)

キーワード：積層メタル技術、MEMS慣性センサ、傾斜時感度特性