[8p-PA2-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[8p-PA2-9] スパッタエッチングにより極薄化したSiO₂接合層を持つSOD基板の作製

〇永田 将大¹、白浜 亮弥¹、Duangchan Sethavut¹、馬場 昭好¹ (1.九工大)

キーワード：スパッタエッチング、表面活性化接合