[8p-PB1-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8p-PB1-14] 反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるナノコンポジットAlN薄膜の構造解析

〇吉田 智博¹、村澤 功基²、工藤 昌輝³、鳥山 誉亮³、内田 聖也⁴、福井 康雄²、櫻井 正俊²、吉武 剛⁴ (1.福岡県工技セ機電研、2.オーエスジー株式会社、3.九大超顕微セ、4.九大院総理工)

キーワード：ナノコンポジット、AlN