[8p-PB1-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8p-PB1-8] p-GaN表面への準大気圧プラズマ照射の効果

〇熊谷 直人^1,3、板垣 宏知²、金 載浩³、小木曽 久人²、王 学論^1,3、廣瀬 伸吾²、榊田 創^3,1 (1.産総研GaN-OIL、2.産総研AMRI、3.産総研ESPRIT)

キーワード：窒化物半導体、有機金属気相成長法、表面