16:00 〜 18:00 [15p-P11-1] 3極型大電力パルススパッタを用いたスピント型冷陰極の作製 〇成田 智基1、谷口 日向1、大家 渓1、中野 武雄1、長尾 昌善2、村上 勝久2、大崎 壽2 (1.成蹊大理工、2.産総研)