12:00 〜 12:15 [14a-313-12] フレキシブルRFIDタグ応用に向けた低In、Gaドープ塗布型IGZO- TFTの作製と評価 〇周 真平1、田中 光1、平山 智章1、山内 博1、岡田 悠悟2、酒井 正俊1、飯塚 正明3、工藤 一浩1 (1.千葉大院工、2.千葉大先進科学センター、3.千葉大教育)