16:30 〜 16:45 △ [16p-F205-11] 非標識バイオセンシングに向けた高い波長選択性を持つMEMS光干渉型表面応力センサの製作 〇高橋 利昌1、飛沢 健1、三澤 宣雄2、瀧 美樹1、澤田 和明1、髙橋 一浩1,3 (1.豊技大工、2.神奈川科学技術アカデミー、3.JSTさきがけ)