13:30 〜 15:30 [17p-P3-13] 4インチc面サファイア基板上AlNの高温N2アニールによる高品質化 〇富田 優志1、三嶋 晃1、矢野 良樹1、田渕 俊也1、松本 功1、三宅 秀人2 (1.大陽日酸㈱、2.三重大)