11:30 〜 11:45 [14a-315-8] イオン注入法による窒化物半導体の電気的特性の制御と集積回路への応用の検討 〇岡田 浩1、関口 寛人1、上月 誠也1、山根 啓輔1、若原 昭浩1 (1.豊橋技科大)