16:00 〜 18:00 [14p-P9-4] 高指向性坩堝を用いた斜め堆積反応性蒸着のシミュレーション 〇(B)泉澤 宏樹1、仲尾 昌浩1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大)