14:00 〜 14:15 [14p-502-2] EFG成長したβ-Ga2O3結晶中の欠陥評価(1) - (201)基板上のエッチピット列に対応する転位 - 〇上田 修1、池永 訓昭1、森林 朋也2、輿 公祥3、飯塚 和幸3、倉又 朗人3、嘉数 誠2 (1.金沢工大、2.佐賀大院工、3.タムラ製作所)