09:15 〜 09:30 [15a-503-2] SiNxドットパターンマスクを施したGa2O3(-201)基板上AlGaN (0001)エピタキシャル膜の成長 〇森島 嘉克1、平山 秀樹2、山腰 茂伸1 (1.タムラ製作所、2.理研)