13:30 〜 15:30 [16p-P8-21] スパッタ法によるCuAlO2薄膜の成膜:ターゲット作成とスパッタリングによるターゲット表面の構造変化 〇惠原 貴志1、飯坂 涼1、阿部 真理奈1、阿部 清晃1、佐藤 拓也1 (1.石巻専修大学理工)