13:30 〜 15:30 [17p-P3-9] GaN中への窒素によるMgのリコイルインプランテーションの試み 〇山田 寿一1、田岡 紀之1、高橋 言緒2、清水 三聡1 (1.産総研GaN-OIL、2.産総研)