11:30 〜 11:45 [15a-F201-10] 超高温RTPウェーハの酸素析出におよぼす窒素ドープの効果 〇岡村 秀幸1、須藤 治生1、中村 浩三3、前田 進1、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)