09:30 〜 11:30 [16a-P5-14] 高速動作パワー素子のターンオフ時における配線表皮効果のコンパクトモデリング 〇福田 浩一1、服部 淳一1、佐藤 佳宏1、佐藤 弘1、山口 浩1 (1.産総研)