09:30 〜 11:30 [15a-P11-11] Cat-CVD SiNx膜による微細テクスチャー結晶 Si 表面のパッシベーション 〇劉 静1、赤木 成明2、山本 裕三2、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.攝津製油)