14:30 〜 14:45 [15p-422-5] 機械的共振を用いた MEMS 波長可変 VCSEL の広帯域掃引・低駆動電圧動作 〇中濱 正統1、井上 俊也1、松谷 晃宏2、坂口 孝浩1、小山 二三夫1 (1.東工大未来研、2.東工大技術部)