13:30 〜 15:30 [14p-P1-14] 超音速噴流を用いたVHFプラズマによる超高速DLC成膜 〇井本 幸希1、宗 洋志1、岩崎 悠也1、戸野 博之1、牟田 浩司1、西田 哲2 (1.近畿大産業理工、2.岐阜大院工)