16:00 〜 16:15 [17p-211-10] 熱ALDによるAlOx層成膜時の酸化剤とパッシベーション性能の関係 市川 寛章1、高橋 勲1、〇宇佐美 徳隆1、白澤 勝彦2、高遠 秀尚2 (1.名大院工、2.産総研福島)