16:00 〜 18:00 [14p-P9-5] 大気開放型プラズマジェットを用いた二元同時エッチングによる合金ナノ粒子合成の試み 〇清水 禎樹1,2、伯田 幸也2,1 (1.産総研ナノ材料、2.産総研オペランド)