09:30 〜 09:45 [15a-412-3] 高酸素濃度成長を用いたSi(111)上高配向ダイヤ膜の合成 〇須藤 建瑠1,2、桑原 新之助1、矢板 潤也1,2、岩崎 孝之1,2、波多野 睦子1,2 (1.東工大、2.JST-CREST)