17:45 〜 18:00 [15p-503-15] AlGaN/GaNヘテロ構造における転位観察と歪解析 〇二木 佐知1、前川 順子1、青木 正彦1、山本 雄大2、横川 俊哉2 (1.イオンテクノ、2.山口大工)