13:30 〜 15:30 [15p-P5-2] リアルタイムOSを用いたFCE法によるAu原子接合での制御パラメータの自律設定手法 〇岩田 侑馬1、加藤木 悠1、沼倉 憲彬1、酒井 正太郎1、白樫 淳一1 (1.東京農工大院工)