17:45 〜 18:00 [16p-412-18] In-Ga-Zn-O成膜温度が薄膜トランジスタ特性および信頼性に及ぼす影響 〇田中 宏怜1、東 龍之介1、古田 守1,2 (1.高知工科大学、2.総合研究所)