15:30 〜 15:45 [14p-B5-4] CZ-Si結晶成長における成長速度と界面形状の数値解析 〇西原 雄太1、刈谷 宣政1、沓掛 穂高2、太子 敏則2、干川 圭吾2 (1.エム・セテック(株)、2.信州大学)