13:30 〜 15:30 [17p-P3-12] AlN/SiC近接昇華ヘテロ成長における界面熱分解制御 〇伊藤 聡司1、堂島 大地1、芦田 晃嗣1、佐藤 一成2、山本 喜之2、金子 忠昭1 (1.関学大理工、2.住友電工 伝デ研)