2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[Ae-1] ゼネラル物産(株)

■1)ジェイエス技研: VHF帯高周波電源、整合器、フィルタ回路
■2)MAGPULS社: HIPMS用高出力インパルスプラズマ電源
■3)インピーダンス社: プラズマ診断計測機器