2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[At-14] SCIVAX(株)

■ナノインプリントによる微細加工(成形等)の試作、量産 ■形状設計・確認(シミュレーション)、モールド作成、ナノインプリント、エッチング等、トータルでの受託及び個別での受託

[Sv-19] (株)サイエンスラボラトリーズ

■電子銃・イオン銃 ■残留ガス分析器 ■高速・高電圧パルスジェネレーター ■ディレイライン ■ロックインアンプ ■ピエゾアクチュエーター ■SPM用プローブ/ カンチレバー ■オートコリレータ・クロスコリレータ

[Ss-6] サイバネットシステム(株)

■DiffractMOD:RCWA法による回析光学素子解析ソフトウエア ■FullWAVE:FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア ■BeamPROP:BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア ■FemSIM:FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア ■setfos:有機デバイスの光学・電気特性を包括的に解析するソフトウエア

[At-10] サムコ(株)

■ICPエッチング装置 ■ボッシュプロセス対応 DRIE装置 ■リアクティブイオンエッチング装置 ■プラズマCVD装置 ■ALD装置 ■プラズマクリーナー ■UVオゾンクリーナー

[Sl-5] サンテック(株)

■高出力(>+10dBm)かつ高信号対雑音比(>90dB/0.1nm)の光学系を搭載した高性能波長可変光源《TSL-550》 ■超広帯域(450-2400nm)なスーパーコンティニウム光源《UWS-2000》 ■反射型LCOS(liquid crystal on silicon)を用いた高分解能用途に最適な空間光変調器《SLM-100》