■超高温スーパーRTA装置(SR1800G) ■赤外線導入加熱装置(GVL298) ■均温熱処理装置(GFA430VN) 他

■ナノインプリントによる微細加工（成形等）の試作、量産 ■形状設計・確認（シミュレーション）、モールド作成、ナノインプリント、エッチング等、トータルでの受託及び個別での受託

■電子銃・イオン銃 ■残留ガス分析器 ■高速・高電圧パルスジェネレーター ■ディレイライン ■ロックインアンプ ■ピエゾアクチュエーター ■SPM用プローブ/ カンチレバー ■オートコリレータ・クロスコリレータ

■DiffractMOD：RCWA法による回析光学素子解析ソフトウエア ■FullWAVE：FDTD法によるナノ構造の電磁界解析ソフトウエア ■BeamPROP：BPM法による光導波路・ファイバの伝播解析ソフトウエア ■FemSIM：FEM法による光導波路・ファイバのモード解析ソフトウエア ■setfos：有機デバイスの光学・電気特性を包括的に解析するソフトウエア

■受託分析サービスを事例とともにご紹介します。

■超高真空用NEGポンプ CapaciTorrシリーズ ■NEG・イオン一体型超高真空用ポンプ　NEXTORRポンプ ■高真空対応新型ポンプ CapaciTorr HVシリーズ

■プラズマ装置

■高周波電源 ■高周波増幅器 ■RFコンポーネント

■ICPエッチング装置 ■ボッシュプロセス対応 DRIE装置 ■リアクティブイオンエッチング装置 ■プラズマCVD装置 ■ALD装置 ■プラズマクリーナー ■UVオゾンクリーナー

■超小型分光モジュール ■分光用レーザー各種 ■CO2レーザーモニター装置

■産業技術総合研究所共用施設のご案内

TBD

■高出力（>+10dBm）かつ高信号対雑音比（>90dB/0.1nm）の光学系を搭載した高性能波長可変光源《TSL-550》 ■超広帯域（450-2400nm)なスーパーコンティニウム光源《UWS-2000》 ■反射型LCOS(liquid crystal on silicon)を用いた高分解能用途に最適な空間光変調器《SLM-100》

■卓上型スパッタ装置　SC-701MkII ADVANCE ■小型プログラマブルスパッタ装置　SC-701HMCII ■真空蒸着装置　SVC-700TMSG/7PS80

TBD

■真空機器 ■流体制御機器

TBD

■成膜サンプル各種

■分光エリプソメーター

TBD