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■完全分離型スキャナーを搭載した最新型AFMシステムと最新型真空AFM
■Pfeiffer Vacuum社 ・卓上型ターボ分子ポンプ排気ユニットHicube80ECO ・高圧縮比型ターボ分子ポンプ HiPace300H ・フルレンジCCゲージ PKRシリーズ ・ヘリウムリークディテクタ ASMシリーズ ・大気圧ガスオンラインモニター GSD320 他
■大気圧プラズマ装置(低温のプラズマ照射が可能)
■真空成膜装置 ■真空コンポーネント ■表面分析装置 ■極低温光学・物性測定装置
■マイクロPMT/ミニ分光器/テラヘルツ光伝導スイッチモジュール/深紫外光源UVCL/MPPCモジュール/量子カスケードレーザ(QCL)/ワイドダイナミックレンジ光電子増倍管ユニット/フェムト秒パルスシェーバ/SERSディテクションモジュール/他
■マスクレス露光装置 ■薄膜レーザーパターニング装置 ■表面活性化接合装置
■走査プローブ顕微鏡
■超小型・超ストロークピエゾステージ ■ピコスケールレーザー干渉計
■UVオゾンクリーナー ■オスミウム・プラズマコーター ■真空電子染色装置
■非接触光学式段差・粗さ・表面形状測定システム Profilm3D ■非接触光学式膜厚・光学定数測定システム F20
■半導体フォトカソード電子銃の原理、および電子顕微鏡へ応用して得られたデータ等のパネル展示 他
■空冷小型/体型フェムト秒レーザ: CARBIDE ■小型フェムト秒・ピコ秒レーザ: LighitWire ■空冷小型ナノ秒レーザ: Quarntas ■超コンパクトCWマイクロレーザ: Match Box2 ■COMS制御・超高速分光器: AvaSpec-EVO他
■分子シミュレーションソフト:SCIGRESS(サイグレス)
■光学フィルター、偏光子、その他各種光学部品
■研究開発用インクジェット装置 マテリアルプリンターDMP-2850
TBD
■AFM(原子間力顕微鏡)、ナノインデンテーションシステム及び、X線回折装置のご紹介
■汎用電磁光学設計・評価ソフトウェア VirtualLab ■強連成マルチフィジックス解析(熱構造解析)ソフトウェアOOFELIE
■小型電源 他