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■汎用電磁光学設計・評価ソフトウェア VirtualLab ■強連成マルチフィジックス解析(熱構造解析)ソフトウェアOOFELIE
■小型電源 他
■DC/パワーデバイス/RF測定対応高性能マニュアルプローバー ■DC/パワーデバイス/RF測定対応高性能セミオートプローバー ■RFプローブ・校正基板・校正ソフトウェア
■pH計 ■OSD分光器 ■検出器 ■回折格子 ■マスフローコントローラ ほか
■連続流型光学用クライオスタット ST-100 ■連続流型顕微鏡用クライオスタット ST-500 ■液体窒素クライオスタット VPF-100
■極低温装置/ 超電導システム用 高効率冷凍機「Brayton NeO」
■高真空用CMOSカメラ バキュームアイ ■真空内視鏡 HIVE
■超精密研磨装置MA-200e ■ダイヤモンドワイヤーソー ■実験用精密スクライバー
■PL測定装置
■ピュアオゾンジェネレータの技術紹介 ■フィルム用R2R装置
■<新製品>マルチスペクトル・エリプソメーター、QCM-D 生体-マテリアル・生体間インタラクション解析システム、精密切断小型ダイヤモンドワイヤーソー、小型接触角計、ナノ粒子マルチアナライザー、オスミウムコータ、プラズマエッチング・クリーニング装置
■PBNヒータ、PBN静電チャック、PBNルツボ、TaCコート品、BNパウダー、焼結BN、HOPG
■「ナノテクノロジープラットフォーム」は、文部科学省の委託に拠り最先端の研究設備を広く一般の研究者・技術者の方々へ利用して頂く事業です。テクノロジー分野の更なる発展に寄与することを目的に、全国26ヶ所の大学・研究機関が一体となって、三つの技術領域(微細構造解析、微細加工、分子・物質合成)に於いて、最先端設備と共に高度な技術支援を提供します。これらの概要と利用事例をご説明し、利用相談にも応じます。
■ソーラシミュレータ、Z-Cure(UV-IRスポット光源) ■表面欠陥検査装置(魔鏡)
■グラフ作成・データ解析ソフトウェアOriginPro2017
■EUV~X線用カメラ ■ピクセル検出器 ■X線用多層膜ミラー ■EUV用薄膜フィルター ■セラミック絶縁管
■X線回折装置・ハイブリッド型多次元ピクセル検出器・熱分析装置
■大気中光電子分光装置 AC-5 ■ポータブルX線回折装置 DF-1 ■ポケッタブルマルチガスモニター VOC
■超高真空/高真空マイクロプローブ &チャンバ ■高真空・薄型マイクロプローブ &チャンバ ■ホール効果測定装置
■FDTD Solutions:高機能2D/3DFDTD法マックスウェル・ソルバー ■MODE Solutions:統合的導波路設計環境 ■INTERCONNECT:光集積回路シミュレーション・解析 ■DEVICE:荷電・伝熱の連成のマルチフィジックス解析・モデリング