[14a-213-1~12] 6.4 薄膜新材料

[14a-213-10] スパッタリング法による(Cr_xFe_1-x)₂O₃薄膜およびCr₂O₃/Fe₂O₃積層膜の作製及び結晶構造解析

〇福井 慎二郎¹、隅田 貴士¹、橋本 浩佑¹、平戸 剛志¹、柳原 康宏¹、永田 知子¹、山本 寛¹、岩田 展幸¹ (1.日大理工)

キーワード：電気磁気効果、Cr2O3、Fe2O3

本研究の目的は、強磁性体(Ferromagnetic：FM)と電気磁気効果を示す反強磁性体(Antiferomagnetic：AFM)であるCr₂O₃を積層させ、電界印加による磁化反転を室温で発現させることである。本発表では、格子整合度を改善して溝の発生を抑制するために、Cr₂O₃へのFeドープもしくはFe₂O₃との積層膜を作製したので報告する。