[14a-313-1~12] 12.1 作製・構造制御

[14a-313-6] グラビアオフセット印刷用銀ナノ粒子インクの作製と微細配線の形成

〇塩川 大介^1,2、泉 小波^1,2、熊木 大介^1,2、時任 静士^1,2 (1.山形大院理工、2.山形大ROEL)

キーワード：銀ナノ粒子インク、グラビアオフセット印刷

グラビアオフセット印刷用銀ナノ粒子インクをシュウ酸架橋アルキルアミン錯体の熱分解法によって新規作製した。銀ナノ粒子インクの粘度は約1.0 Pa・sである。銀ナノ粒子インクを用いて作製した薄膜は150℃で1時間焼成した場合、抵抗率が49µΩcmとなった。また、グラビアオフセット印刷で線幅20µmの配線パターニングにも取り組んだ。