[14a-412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-412-1] 微細加工基板上に生成したダイヤモンド中NV中心の特性評価

〇藤田 留士郎¹、花野 郁也¹、渡邊 幸志²、赤羽 浩一³、早瀬 潤子¹ (1.慶大理工、2.産総研、3.情報通信研究機構)

キーワード：ダイヤモンド、微細加工基板