[14a-419-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14a-419-1] ルチル型TiO₂単結晶メモリスタ素子の抵抗変化領域における価電子状態解析

〇山口 賢吾¹、竹内 正太郎¹、酒井 朗¹、五十嵐 信行² (1.阪大院基礎工、2.名大未来研)

キーワード：抵抗変化現象、TiO2、STEM-EELS

抵抗変化（RS）現象を示すTiO₂はメモリスタ素子材料として期待されている。我々は4端子平面型メモリスタ素子において酸素空孔分布の精密制御による可逆的RS特性を報告してきた。今回、本素子のRS領域内におけるRS特性と結晶構造・価電子状態の相関を捉えるためSTEM-EELS測定を行った。その結果、RS領域内の表層付近においてTiO₂組成が局所的に変化していることを見出した。この変化が素子のRSと関連していると考えられる。